近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 原理及應(yīng)用
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 原理及應(yīng)用
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(英文名稱:SNOM)基于無(wú)輻射場(chǎng)探測(cè)成像原理,可突破普通光學(xué)顯微鏡的衍射極限。它在距離樣品表面幾納米的近場(chǎng)范圍內(nèi)使用亞波長(zhǎng)尺度探針。掃描成像技術(shù)是在近場(chǎng)觀察范圍內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行掃描,同時(shí)獲得分辨率高于衍射極限的形貌和光學(xué)圖像的顯微鏡。
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡適用于具有超高光學(xué)分辨率的納米級(jí)光學(xué)成像和納米級(jí)光譜研究。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的分辨率受光學(xué)衍射極限的影響,分辨率不超過(guò)這個(gè)波長(zhǎng)尺度范圍。與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡不同,近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡使用亞波長(zhǎng)尺度探頭來(lái)實(shí)現(xiàn)更小的分辨率。
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡原理:
使用由熔拉或蝕刻光纖波導(dǎo)制成的探頭,其表面涂有金屬膜,在末端形成一個(gè)近場(chǎng),光學(xué)孔徑為15nm至100nm的光學(xué)探頭,以及壓電陶瓷(壓電陶瓷)可用于精 確位移和掃描檢測(cè),原子力顯微鏡(AFM)提供精 確的高反饋控制,這使得近場(chǎng)光學(xué)探頭非常精 確(垂直和水平方向的空間分辨率)到樣品表面可分別達(dá)到0.1nm和1nm左右)控制待測(cè)樣品表面1nm至100nm的高度,進(jìn)行三維空間反饋可控近場(chǎng)掃描(掃描),以及光纖探頭具有納米光學(xué)孔徑可用于接收或傳輸光學(xué)信息,從而獲得真實(shí)空間三維近場(chǎng)光學(xué)圖像,因?yàn)榕c樣品表面的距離為遠(yuǎn)小于一般光的波長(zhǎng),被測(cè)信息屬于近場(chǎng)光學(xué)的信息,在普通遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)中沒(méi)有衍射極限的光學(xué)分辨率極限。
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的應(yīng)用:
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡突破了傳統(tǒng)光學(xué)衍射的局限。它可以直接用光來(lái)觀察納米材料,分析納米組件的微觀結(jié)構(gòu)和缺陷。近年來(lái),它已被用于半導(dǎo)體礦山的分析。在無(wú)線電元素上。由于其高分辨率,可用于高密度數(shù)據(jù)訪問(wèn)。目前,該技術(shù)已成功生產(chǎn)出超過(guò)100GB的超分辨率近場(chǎng)光盤。此外應(yīng)用于生物分子和蛋白質(zhì)的熒光近場(chǎng)顯微分析。
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的原理和結(jié)構(gòu):
使用一般光學(xué)顯微鏡進(jìn)行遠(yuǎn)場(chǎng)觀察時(shí),由于光波的衍射極限,其分辨率只有幾百納米左右。但如果在近場(chǎng)觀察,則可以避免衍射和干涉的產(chǎn)生,可以克服衍射極限,分辨率可以提高到幾十納米左右。在近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的結(jié)構(gòu)中,采用末端后部直徑為幾十納米的錐形光纖作為探頭。將探頭與被測(cè)物體的距離精 確控制在近場(chǎng)觀察范圍內(nèi),采用可 精 確定位和掃描的壓電陶瓷,利用原子力顯微鏡提供的高反饋控制系統(tǒng)進(jìn)行三三維近場(chǎng)掃描。光纖探頭接收或發(fā)射光信號(hào)以獲得三維近場(chǎng)光學(xué)圖像。