特點(diǎn)：本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測量方法，測量時(shí)不損傷工件表面，能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形，并分析計(jì)算出測量結(jié)果。適用于測量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度；標(biāo)尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌；磁（光）盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。
由于儀器測量精度高，具有非接觸和三維測量的特點(diǎn)，并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測量結(jié)果，本儀器適用于各級測試、計(jì)量研究單位工礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間，也適用于高等院校和科學(xué)研究單位等。
主要技術(shù)參數(shù)
表面微觀不平深度測量范圍
在連續(xù)表面上，相鄰二象素之間沒有大于1 / 4 波長的高度突變時(shí)：1000 一1nm
相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長的高度突變時(shí)：130 一1nm
測量的重復(fù)性：δRa ≤0.5nm
物鏡倍率:40X
數(shù)值孔徑:Φ 65
工作距離:0.5mm
儀器視場 目視: Φ0.25mm
攝象: 0.13×0.13mm
儀器放大倍數(shù) 目視: 500×
攝象（計(jì)算機(jī)屏幕觀察）一2500×
接收器測量列陣:1000X1000
象素尺寸:5.2×5.2μm
測量時(shí)間采樣（掃描）時(shí)間:1S
儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡 反射率（高）: ～50 %
反射率（低）: ～4 %
照明光源:白熾燈6V 5W
綠色干涉濾光片波長:λ≒530nm
半寬度λ≒10nm
主顯微鏡升程:110 mm
工作臺升程:5 mm
X 、丫方向移動(dòng)范圍: ～10 mm
工作臺旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍:360°
工作臺頃斜范圍：±6°
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：P4 , 2 .8G 以上，內(nèi)存1G以上17寸純平顯示器
測量范圍：0.000-50.00NTU、50.01-200.0NTU、200.1-2000NTU、2001-4000NTU（量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換）；讀數(shù)顯示方法：液晶觸摸屏數(shù)字顯示；儀器示值誤差：測量范圍內(nèi)儀器的示值相對誤差應(yīng)不大于±6%，儀器零點(diǎn)漂移：不超過±3%FS，儀器示值穩(wěn)定性：不超過±1%FS，儀器重復(fù)性：≤2%
范圍：0.00~1.99 2.0~19.9 20~199
*小值NTU：0.01(0.00~1.99)0.1(2.0~19.9)1(20~199)
范圍：0.00~19.99 20.0~199.9 200~2000
量程自動(dòng)切換
表面微觀不平深度測量范圍：1000-1nm，微量精度：8nm
測量范圍：0-500錐入單位，*小讀數(shù)：0.1錐入單位；穩(wěn)定性：△U≤0.2
范圍：0~560nm
應(yīng)力測量范圍：560nm（**干涉光）以下；定性位置：全波長光程差560nm；檢偏鏡通光口徑：直徑150mm；臺面玻璃通光口徑：直徑220mm；可測量樣品*大高度：250mm；定性位置：應(yīng)力測量范圍：應(yīng)力測量范圍：280nm（**干涉光）以下：分辨率：0.2nm